Ионный насос

Опубликовано 30.11.2010 Ведущий Антон Панкратов

Ионный насос - это Вакуумный насос, в котором откачиваемый газ подвергается интенсивной ионизации, а образующиеся положительно заряженные ионы удаляются под действием электрического поля. Действие ионных насосов основано на ионизации газа сильным электрическим разрядом и удаление ионизованных молекул электрическим полем. Этот способ мало распространён из-за сложности устройства и большой потребляемой мощности, затрачиваемой главным образом на создание магнитного поля. При комнатной температуре инертные газы и углеводороды практически не поглощаются напылёнными плёнками металлов. Для их удаления служат комбинированные ионно-сорбционные, или ионно - геттерные, насосы, в которых сорбционный способ поглощения химически активных газов сочетается с ионным способом откачки инертных газов и углеводородов. Поглощающая поверхность обновляется осаждением на стенках термически испаряемого титана, а также катодным распылением титана в электрическом разряде или в магнитном поле в электроразрядных или магниторазрядных ионно-сорбционных насосах (рис. 9). Ионно-сорбционные Вакуумные насосы при предварительной откачке до 10-2 н/м2 (до 10-4 мм рт. ст.) создают вакуум до 10-5 н/м2 (10-7 мм рт. ст.). Быстрота откачки зависит от рода газа. Например, быстрота откачки водорода 5000 л/сек, азота 2000 л/сек, аргона 50 л/ сек. Использование ионных насосов сделало возможным развитие как вакуумной так и полупроводниковой электроники и до сих пор является одним из наиболее востребованных приборов в промышленности высоких технологий.