Микроэлектромеханические системы (МЭМС)

Опубликовано 31.03.2011 Ведущий Антон Панкратов

МЭМС это технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микро обработки, аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Несмотря на то, что электронная промышленность обеспечивает широкомасштабный спрос на продукцию кремниевой промышленности, кристаллический кремний по-прежнему является сложным и сравнительно дорогим материалом для производства. Полимеры, с другой стороны, можно производить в больших объемах, с большим разнообразием характеристик материала. МЭМС устройства могут быть сделаны из полимеров с помощью таких процессов, как литьевое формование, штамповка или стереолитография. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра. В настоящее время МЭМС технологии уже применяются для изготовления различных микросхем. МЭМС технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы, магнитометрические датчики, барометрические датчики, анализаторы среды.