Структура интегральных микросхем

Опубликовано 07.01.2010 Ведущая Ольга Константинова

В интегральных микросхемах процесс формирования активных элементов (транзисторов, диодов), пассивных элементов (резисторов, конденсаторов)
и соединительных элементов происходит на поверхности или в объеме полупроводникового кристалла или на поверхности диэлектрической подложки в едином технологическом цикле ...