Микроэлектромеханические системы (МЭМС)

МЭМС это технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микро обработки, аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем ...