Ионный насос

Ионный насос - это Вакуумный насос, в котором откачиваемый газ подвергается интенсивной ионизации, а образующиеся положительно заряженные ионы удаляются под действием электрического поля. Действие ионных насосов основано на ионизации газа сильным электрическим разрядом и удаление ионизованных молекул электрическим полем ...