Кремниевые преобразователи давления

Наряду с традиционными манометрическими и механическими устройствами измерения давления значительное распространение в последние годы получили полупроводниковые преобразователи давления. Их принцип действия основан на изменении удельного объемного сопротивления полупроводника при деформировании давлением ...